技術指標
l SEM掃描成像功能
l 電子束曝光微加工最小尺度20nm
l 探針臺針尖分辨率3μm
l keithley 2612A雙通道源表
功能及特性
l 石墨烯微納米器件制備
l IV曲線測試,電阻、遷移率測試
光學顯微分析
熒光顯微分析
傅立葉變換紅外光譜分析
原子力顯微分析
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